深圳市第三代半導體材料產(chǎn)業(yè)園啟用

近日,深圳市第三代半導體材料產(chǎn)業(yè)園在寶安石巖啟用。該項目重點布局6英寸碳化硅單晶襯底和外延生產(chǎn)線,滿產(chǎn)后預期6英寸碳化硅單晶襯底和外延產(chǎn)能分別達到10萬片/年和25萬片/年。
該園區(qū)重點布局6英寸碳化硅單晶襯底和外延生產(chǎn)線,是廣東省和深圳市重點項目、深圳全球招商大會重點簽約項目。園區(qū)由深圳市重投天科半導體有限公司(以下簡稱“重投天科”)建設(shè)運營,總投資32.7億元。
園區(qū)2021年11月開工,2022年11月關(guān)鍵生產(chǎn)區(qū)域廠房結(jié)構(gòu)封頂,2023年6月襯底產(chǎn)線正式進入試運行階段,并先后于10月達產(chǎn)、12月滿產(chǎn),超額完成年內(nèi)生產(chǎn)任務(wù)。接下來,運營方重投天科還將設(shè)立大尺寸晶體生長和外延研發(fā)中心,并與本地重點實驗室在儀器設(shè)備共享及材料領(lǐng)域開展合作,與重點裝備制造企業(yè)加強晶體加工領(lǐng)域的技術(shù)創(chuàng)新合作,聯(lián)動下游龍頭企業(yè)在車規(guī)器件、模組研發(fā)等工作上聯(lián)合創(chuàng)新,助力深圳提升8英寸襯底平臺領(lǐng)域研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化制造技術(shù)水平。
以碳化硅為代表的第三代寬禁帶半導體材料,是繼硅以后最有行業(yè)前景的半導體材料之一,市場需求旺盛,主要應(yīng)用于5G通訊、新能源汽車、電力電子以及大功率轉(zhuǎn)換領(lǐng)域等戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)。作為中國集成電路(IC)產(chǎn)業(yè)的重鎮(zhèn)之一,深圳IC產(chǎn)業(yè)近年來保持快速增長態(tài)勢,深圳在國內(nèi)率先提出第三代半導體“虛擬全產(chǎn)業(yè)鏈(VIDM)”發(fā)展模式,該產(chǎn)業(yè)園的揭牌將進一步支撐深圳打造全國第三代半導體技術(shù)創(chuàng)新高地。
近年來,寶安將半導體與集成電路產(chǎn)業(yè)作為重點布局,推動上下游企業(yè)快速集聚、聚勢發(fā)展,產(chǎn)業(yè)規(guī)模不斷擴大,初步形成了包括設(shè)計、制造、封測、設(shè)備、材料在內(nèi)的全產(chǎn)業(yè)鏈生態(tài)鏈,已成長為寶安5個千億級產(chǎn)業(yè)集群之一。據(jù)悉,寶安2023年半導體與集成電路產(chǎn)業(yè)增加值接近200億元,約占全市的1/3,集群增加值、規(guī)上企業(yè)數(shù)量均為全市第一。
2023年,寶安出臺了《寶安區(qū)培育發(fā)展半導體與集成電路產(chǎn)業(yè)集群實施方案(2023—2025年)》和《寶安區(qū)關(guān)于促進半導體與集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展的若干措施》,確定了產(chǎn)業(yè)發(fā)展的三大目標、“2+4”空間格局和六大方向,從科技創(chuàng)新及技術(shù)攻關(guān)、空間保障等多個方面,對半導體與集成電路領(lǐng)域給予大力支持。(記者 葉志衛(wèi))
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